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       隨著航空航天、精密儀器的快速發(fā)展，對高性能導(dǎo)航設(shè)備的要求日益增長。在這些設(shè)備中，陀螺儀作為關(guān)鍵的傳感組件，其性能直接影響整個系統(tǒng)的精確度和可靠性。陀螺儀是用來測量、控制物體相對慣性空間角運動的慣性器件。在導(dǎo)航、制導(dǎo)和控制等眾多領(lǐng)域，陀螺儀發(fā)揮了重要作用。科學(xué)理論的不斷進(jìn)步和工藝水平的提升使得基于各種原理的陀螺儀相繼被開發(fā)出來。全球?qū)ν勇輧x的精度、穩(wěn)定性、可靠性、成本和尺寸等性能指標(biāo)的持續(xù)追求顯著推動了陀螺儀技術(shù)的進(jìn)展。
        其中，半球諧振陀螺儀（Hemispherical Resonator Gyro, HRG）以其高精度、高可靠性和長壽命而著稱，這種固態(tài)陀螺儀通過半球形殼體邊緣的徑向振動駐波來檢測旋轉(zhuǎn)，利用這種哥氏振動效應(yīng)。HRG的一個顯著特點是它不含有移動部件，從而實現(xiàn)了低噪音、高性能和無磨損的操作，確保了長壽命和免維護(hù)的優(yōu)勢。
          此外，由于HRG依靠半球諧振子沿邊緣的高頻振動產(chǎn)生哥氏效應(yīng)來感應(yīng)角運動。半球陀螺由于其卓越的性能和高精度特性，已成為研究和應(yīng)用的熱點。特別是融石英材料制成的微型半球陀螺諧振器，以其優(yōu)異的物理和化學(xué)穩(wěn)定性，可以保證在強(qiáng)干擾環(huán)境下運行的穩(wěn)定性和超長的壽命。在保證高精度的前提下，微型化是微半球陀螺儀技術(shù)發(fā)展的一個重要方向。傳統(tǒng)的半球陀螺體積大，制造成本高，只適用于要求非常高的航空航天等高價值探測領(lǐng)域，其商業(yè)化、市場化進(jìn)程緩慢。微型化不僅使設(shè)備更小、更輕，也大大降低了制造成本，隨著慣性導(dǎo)航裝備的普及和發(fā)展，商業(yè)市場對成本效益高、體積小的精密導(dǎo)航設(shè)備需求日益增長，使得微型HRG的研究與開發(fā)具有極高的商業(yè)價值和市場潛力。本文提到的的融石英微半球陀螺諧振器制備裝置，正是基于此工藝設(shè)計的。該工藝能有效控制材料在成型過程中的流動和冷卻，從而減少內(nèi)部應(yīng)力的產(chǎn)生，提高了產(chǎn)品的一致性和可重復(fù)性。該裝置設(shè)計考慮了多種操作變量，包括溫度、壓力和吹氣時間，這些都可以精確調(diào)控，以適應(yīng)不同幾何深度的諧振子需求。通過該設(shè)計，我們旨在充分利用熱成型吹制工藝的優(yōu)勢，推動微半球陀螺諧振器制備工藝技術(shù)的進(jìn)步，推動微半球陀螺技術(shù)的商業(yè)化進(jìn)程，為高精度傳感器領(lǐng)域提供更為高效和穩(wěn)定的技術(shù)解決方案。