作品名稱(chēng)：MPCVD真空諧振腔升降工作臺(tái) 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
學(xué)校名稱(chēng)：山東理工大學(xué)
參賽隊(duì)伍：望雨周知
隊(duì)伍編號(hào)：198055
參賽學(xué)生：初秉燁 王治政
指導(dǎo)老師：于文強(qiáng)
投票日期：2024年10月08日 00:00->2024年12月05日 15:00
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微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）的實(shí)驗(yàn)原理是將微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波經(jīng)過(guò)天線(xiàn)耦合達(dá)到指定頻率進(jìn)入反應(yīng)腔，同時(shí)，要在反應(yīng)腔中加入一定的反應(yīng)氣體（CH4或H2等），微波即電磁波可以激發(fā)反應(yīng)氣體，激發(fā)后就產(chǎn)生了等離子體，等離子體能以一定的速率沉積到基底上，從而形成了金剛石膜。
